モールドー浅井産業株式会社

DLCコーティング

多様で優れたコーティングが可能、UBMS
（アンバランスド・マグネトロン・スパッタリング・システム）
　DLC (ダイアモンド・ライク・カーボン) は、炭素を主成分とするアモルファス皮膜の総称です。特性として高硬度、離型性、潤滑性等様々なものがあります。特にUBMS（アンバランスド・マグネトロン・スパッタリング）法で成膜した場合、炭素源に水素を含有しないので、イオン化蒸着法やプラズマCVD法等の他の処理法方に比べ、硬質なDLCが得られます。DLCの平滑性、潤滑性、離型性を維持したまま高硬度皮膜が得られるため様々な用途で長寿命化が図れます。


	スパッタリング法は、カソードにアルゴンガスを導入し、グロー放電を発生させてアルゴンイオンをカソード表面に衝突させてはじき出された粒子を成膜する方法です。UBMS（アンバランスド・マグネトロン・スパッタリング・システム）は磁場を意図的に崩し、カソード表面に収束していたプラズマの一部を基板まで拡散させることにより基板に照射させるイオンを増大させています。これにより皮膜の特性を変化させることができます。